Giới thiệu thanh bar ion khử tĩnh điện 5635MP
AeroBar 5635 MP là thiết bị khử tĩnh điện đến từ thương hiệu Simco-Ion được thiết kế đặc biệt để loại bỏ tĩnh điện trong chất bán dẫn và các quy trình sản xuất phòng sạch, nơi yêu cầu khả năng phóng điện nhanh, điện áp xoay thấp và cân bằng chính xác.
Model này 5635 sử dụng công nghệ MP, kết hợp sóng sin tần số cao và xung điều chế (MP) để tạo ra phân phối ion cao. Công nghệ đột phá này cho phép gắn AeroBar trong khoảng cách 150 mm tính từ tấm wafer giúp cải thiện hiệu suất làm việc. Công nghệ MP, kết hợp với các điểm phun silicon siêu sạch, có thể điều chỉnh độ chính xác, cung cấp độ ion hóa sạch theo tiêu chuẩn ISO 14644-12 (hạt hoặc hạt nano 0,01 µm) và độ sạch theo tiêu chuẩn ISO 14644 Class 1 (hạt 0,1 µm), rất quan trọng đối với ngành công nghiệp sản xuất nút công nghệ nhỏ hơn.
Đặc điểm nổi bật của Simco 5635MP
- ISO 14644-12 (hạt 0,01 µm) ion hóa
- An toàn phòng sạch theo chuẩn ISO 14644 Class 1 (0,1 µm)
- Tích hợp công nghệ điều chế xung
- Độ đồng đều bên tuyệt vời
- Trường điện áp thâp, an toàn với các linh kiện điện tử
- Khả năng hỗ trợ không khí
- Phần mềm tùy chọn với giao diện dễ sử dụng với khả năng điều chỉnh rộng
- Có chức năng báo hiệu bất thường cho tín hiệu đầu ra