Thanh bar phun ion khử tĩnh điện Simco 5225S

Giới thiệu thanh bar khử tĩnh điện Simco 5225

5225 là thiết bị khử tĩnh điện dạng thanh giá rẻ đến từ thương hiệu Simco, nó được cung cấp kèm phần mềm điều khiển được thiết kế để xử lý các yêu cầu khắt khe của quá trình ion hóa trong công cụ. Với lượng ion đầu ra cao cung cấp khả năng trung hòa điện tích trên tấm wafer nhanh chóng, thiết bị tuân thủ chỉ tiêu E78 ở mức nghiêm ngặt nhất.

Thiết bị được điều khiển thông qua cài đặt kỹ thuật số có thể điều chỉnh nhanh, chính xác khiến nó phù hợp với các ứng dụng, từ các công cụ bên trong đến máy trạm và khu vực phòng sạch. Thiết bị cho phép lựa chọn chế độ ion hóa, điện áp đầu ra và thời gian cung cấp tính linh hoạt để đáp ứng các yêu cầu trung hòa điện tĩnh điện trên bề mặt

Thiế bị được tích hợp chức năng báo động, chế độ này kích hoạt khi thanh không còn có thể duy trì mức đầu ra ion đã đặt trước; cảnh báo được hiển thị trực quan bằng đèn LED màu đỏ ở giữa khung máy; giới hạn cảnh báo ngưỡng có thể cài đặt để bảo trì dự đoán

Đặc điểm nổi bật của Simco 5225

• Tất cả các thông số được cài đặt trên thanh khử tĩnh điện không cần qua bộ điều khiển
• Các thông số có thể điều chỉnh cho mỗi đơn vị  AeroBar sử dụng chế độ xung DC hoặc DC ở trạng thái ổn định
• Nhiều kích thước khác nhau bao gồm ba chiều dài được thiết kế đặc biệt cho EFEM
• Giám sát dòng điện ion hiệu quả
• Cảnh báo FMS đâu ra
• Điểm phát làm bằng silicon đơn tinh thể

Ứng dụng

• Xử lý linh kiện bán dẫn
• Sản xuất bán dẫn
• Kiểm soát phóng tĩnh điện và nhiễm bẩn bụi trong môi trường