Thanh bar phun ion khử tĩnh điện Simco 5225

Giới thiệu thanh bar khử tĩnh điện Simco 5225

5225 là thiết bị khử tĩnh điện dạng thanh giá rẻ đến từ thương hiệu Simco, nó được cung cấp kèm phần mềm điều khiển được thiết kế để xử lý các yêu cầu khắt khe của quá trình ion hóa trong công cụ. Với lượng ion đầu ra cao cung cấp khả năng trung hòa điện tích trên tấm wafer nhanh chóng, thiết bị tuân thủ chỉ tiêu E78 ở mức nghiêm ngặt nhất.

Đặc điểm nổi bật

• Hệ thống hoàn chỉnh thiết bị khử tĩnh điện và trình điều khiển
• Các thông số hoàn toàn có thể điều chỉnh cho từng AeroBar
• Giám sát dòng điện ion giúp hoạt động ổn định hơn
• Một số độ dài thanh có sẵn bao gồ m 3 độ dài được thiết kế đặc biệt cho EFEM

Ứng dụng

• Xử lý linh kiện bán dẫn
• Sản xuất bán dẫn
• Kiểm soát phóng tĩnh điện và nhiễm bẩn bụi trong môi trường