Giới thiệu thiết bị khử tĩnh điện QuadBar 4635
Thiết bị khử tĩnh điện QuadBar 4635 của Simco-Ion cung cấp khả năng kiểm soát điện tích tĩnh hiệu quả trong một khu vực nhỏ. Model 4635 cung cấp hai tùy chọn thiết kế ống khí hỗ trợ. Mỗi ống khí này sử dụng một ống đa kênh được bố trí xung quanh các điểm phát nhằm cung cấp khả năng phân phối không khí tối ưu hơn với điện áp trường tối thiểu.
Đặc điểm nổi bật của QuadBar 4635
- Thiết kế ống khí hỗ trợ với khả năng phân phối không khí đa kênh
- Hai tùy chọn thiết kế ống khí cung cấp thời gian làm sạch kéo dài hoặc thời gian xả nhanh hơn
- Cấu hình tứ cực với công nghệ IsoStat
- Kích thước nhỏ gọn phù hợp làm việc ở những không gian nhỏ
- Điểm phát Silicon đơn tinh thể
- Đầu ra cảnh báo tới FMS hoặc bộ điều khiển công cụ xử lý
Bộ điều khiển 4030
Bộ điều khiển QuadBar Simco-Ion Model 4030 là giải pháp thuận tiện để cấp nguồn và giám sát lên đến 16 QuadBar kèm theo đó là 2 bộ ion AeroBar Model 5685 giúp vận hành ổn định nhất
Ứng dụng
Các bộ ion hóa QuadBar Model 4630 được đặt bên trên và bên dưới cánh tay robot xử lý giúp đẩy nhanh thời gian xả trên bề mặt tấm wafer trước và sau