Giới thiệu thiết bị khử tĩnh điện QuadBar 4630
Thiết bị khử tĩnh điện QuadBar 4630 của Simco-Ion là một thiết bị hoạt động an toàn, hiệu quả. Cấu hình bốn cực độc đáo của nó đảm bảo quá trình khử tĩnh điện hóa hiệu quả ở khoảng cách cách sản phẩm gần 3 inch (7,6 cm).
Kích thước nhỏ gọn của 4630 được thiết kế để dễ dàng phù hợp với không gian chật hẹp của bất kỳ thiết bị quy trình nào và khả năng chạy trên nguồn điện đầu vào 24 VDC
Đặc điểm nổi bật của QuadBar 4630
- Tích hợp công nghệ IsoStat với cấu hình 4 cực
- Kích thước nhỏ gọn dễ dàng gắn ở những khu vực chật hẹp
- Hoạt động với nguồn cấp 24 VAC hoặc 24 VDC
- Tích hợp sẵn các điểm phát silicon tinh thể đơn
- Đầu ra cảnh báo tới FMS hoặc bộ điều khiển
Bộ điều khiển 4030
Bộ điều khiển QuadBar Simco-Ion Model 4030 là giải pháp thuận tiện để cấp nguồn và giám sát lên đến 16 QuadBar kèm theo đó là 2 bộ ion AeroBar Model 5685 giúp vận hành ổn định nhất
Ứng dụng
Các bộ ion hóa QuadBar Model 4630 được đặt bên trên và bên dưới cánh tay robot xử lý giúp đẩy nhanh thời gian xả trên bề mặt tấm wafer trước và sau