Chuyên Thiết Bị / Products / Thiết bị khử tĩnh điện /

Thanh bar ion khử tĩnh điện Simco 5635M MP

Thông tin sản phẩm

Hãng sản xuất: Simco
Mã sản phẩm: 5635M MP
Bảo hành: 12 tháng

Thông tin khuyến mãi

Sản phẩm tạm thời chưa có khuyến mãi!

Yêu cầu báo giá

Category: Thiết bị khử tĩnh điện

Thanh toán đơn giản

Phương thức thanh toán đa dạng

Miễn phí vận chuyển

Cho đơn hàng từ 3.000.000 VNĐ

Hỗ trợ 24/7

Ngay cả ngoài giờ làm việc

Liên hệ tư vấn Hồ Chí Minh

Điện thoại: (028).3977.8269 / 0906.988.447

Email: sales@lidinco.com

Liên hệ tư vấn Bắc Ninh, Hà Nội

Điện thoại: (0222).730.0180

Email: bn@lidinco.com

Liên hệ qua ứng dụng: (Lidinco)

Giới thiệu thanh bar ion khử tĩnh điện 5635M MP

AeroBar 5635M MP là thiết bị khử tĩnh điện đến từ thương hiệu Simco-Ion được thiết kế đặc biệt để loại bỏ tĩnh điện trong chất bán dẫn và các quy trình sản xuất phòng sạch, nơi yêu cầu khả năng phóng điện nhanh, điện áp xoay thấp và cân bằng chính xác, đồng thời yêu không cho phép tiếp xúc với các bề mặt kim loại

Model này 5635M sử dụng công nghệ MP, kết hợp sóng sin tần số cao và xung điều chế (MP) để tạo ra phân phối ion cao. Công nghệ đột phá này cho phép gắn AeroBar trong khoảng cách 150 mm tính từ tấm wafer giúp cải thiện hiệu suất làm việc. Công nghệ MP, kết hợp với các điểm phun silicon siêu sạch, có thể điều chỉnh độ chính xác, cung cấp độ ion hóa sạch theo tiêu chuẩn ISO 14644-12 (hạt hoặc hạt nano 0,01 µm) và độ sạch theo tiêu chuẩn ISO 14644 Class 1 (hạt 0,1 µm), rất quan trọng đối với ngành công nghiệp sản xuất nút công nghệ nhỏ hơn.

Thiết bị khử tĩnh điện này được thiết kế đặc biệt để xử lý các tấm wafer bán dẫn với yêu cầu nghiêm ngặt về độ sạch và hiệu suất, trong điều kiện cần thiết bị có kích thước nhỏ gọn và không có kim loại

Đặc điểm nổi bật của Simco 5635M MP

ISO 14644-12 (hạt 0,01 µm) ion hóa
An toàn phòng sạch theo chuẩn ISO 14644 Class 1 (0,1 µm)
Tích hợp công nghệ điều chế xung
Độ đồng đều bên tuyệt vời
Trường điện áp thâp, an toàn với các linh kiện điện tử
Khả năng hỗ trợ không khí
Phần mềm tùy chọn với giao diện dễ sử dụng với khả năng điều chỉnh rộng
Có chức năng báo hiệu bất thường cho tín hiệu đầu ra

Xem thêm

Thông số kỹ thuật

Điện áp đầu vào: 24 VDC ± 10%

Điện áp đầu ra: 13,5 kV p-p (tối đa), có thể điều chỉnh

Khoảng cách: 150-1000 mm khoảng cách đến bề mặt; ứng dụng & đặc điểm kỹ thuật của khách hàng phụ thuộc

Tần số: Cài đặt mặc định ở 5 Hz; có thể điều chỉnh từ 1-33 Hz

Điểm cân bằng: Hệ thống cân bằng tự động <± 20V theo thời gian và theo chiều dài thanh (được đo trong môi trường được kiểm soát ở khoảng cách 24 ”)

Phát xạ ion: Công nghệ xung điều chế (MP)

Đầu phát: Điểm phát silicon đơn tinh thể

Bộ phát: Khoảng cách giữa các vòi phun 50 mm hoặc 75 mm; Khoảng cách 50 mm chỉ trên chiều dài 450 mm và 600 mm

Cung cấp không khí: Không khí khô sạch (CDA) hoặc nitơ

Luồng khí: áp suất khí tối đa 45 psi; 1-3,5 lpm / vòi phun thông qua khớp nối một chạm OD 8 mm (tùy chọn)

Hiệu suất ion hóa: 15 giây (typ) không có hỗ trợ không khí, Vp-p Swing là 80 Vp-p; được đo ở 24 ”bên dưới một nhóm điểm trung tâm phát

Ôzôn: <0,05 ppm

EMI: Dưới mức nền

Môi trường hoạt động: Nhiệt độ 15-35 ° C (59-95 ° F); độ ẩm 30-60% RH, không ngưng tụ

Cài đặt thanh:

Công tắc DIP cho các cài đặt nguồn điện chung; trimpots để tinh chỉnh cân bằng, tần số, và công suất đầu ra hoặc sử dụng đầu ra nối tiếp cho phần mềm MP 5635 Bar Control để điều chỉnh tốt

Phần vỏ: Khung bằng ABS, thanh ray bằng thép không gỉ bên ngoài thanh

Kích thước: 78 x 34 x 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350 mm

Hiển thị đầy đủ