Máy đo độ dày vật liệu mỏng Allied High Tech X-Prep Vision™

Giới thiệu tổng quan máy đo độ dày vật liệu trong suốt X-Prep Vision™

X-Prep Vision™ là một công cụ cho phép đo đạt các thông số về độ dày của các vật liệu như chất nền silicon và các chất bán trong suốt. Đây là một thiết bị phân tích cần thiết cho các ứng dụng cần độ mỏng và đồng đều trên các vật liệu có kích thước rất nhỏ

Các vật cố định Adaptor củng được gia cố tăng độ an toàn cho các công đoạn cơ giới hóa trên X-Prep Vision™. Đảm bảo các công cụ đo lường được căn chỉnh khi di chuyển giữ các hệ thống khác nhau

Bộ dữ liệu hơn 130 thông tin về các loại chất nền khác nhau như: GaAs, InGaAs, SiC, Sapphire / Al ₂ O ₃ , InP, SiGe, GaN, photo-resist) được tích hợp trong thiết bị

Phương thức hoạt động máy đo độ dày X-Prep Vision™

Ánh sáng hồng ngoại được tập trung vào mẫu và tín hiệu về chỉ số khúc xạ của mẫu được trả về qua phần mềm phân tích và cho ra tín hiệu độ dày

Đo độ dày dưới 10μm: để đo được độ dày của các vật liệu trong suốt có kích thước nhỏ hơn 10μm tức là ở độ chính xác rất cao nằm ngoài dải đo của máy đo độ dày X-Prep Vision (10μm – 1mm) bạn cần phải lắp quang phổ kế để hỗ trợ quá trình đo